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产品分类：BROOKS质量流量控制器 / Brooks质量流量计
4860_模拟橡胶密封质量流量计(51C41L)
模拟橡胶密封;
流量范围:50 sccm-40 slpm;
精度:±3.0% of FS;±1.0% of FS;
压力:0-150 psig;
阀门:
阀门常闭:<0.3V;
阀门常开:>4.8V
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