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HORIBA质量流量控制器

SEC-8000F高温质量流量控制器

产品分类：HORIBA质量流量控制器
产品介绍

 

概要
SEC-8000F/D 系列, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之一级别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。
特征
  • 具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度：±1.0% 设定流量.
  • 超快速响应
  • 超洁净处理
  • 满足RoHS 环境标准
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